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用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌ZnS薄膜的腐蚀液及腐蚀方法

摘要

本发明公开了一种用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌ZnS薄膜的腐蚀液及腐蚀方法。用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌ZnS薄膜的腐蚀液,包括:作为溶剂的水H2O、以及溶于H2O的溶质,溶质包括碘化钾KI和氢氧化钾KOH。采用本发明,腐蚀液可以与ZnS在常温下发生化学反应,实现对碲镉汞表面的ZnS薄膜的常温腐蚀,整个反应过程速率慢、且无发热,可以实现对腐蚀度的精确控制,腐蚀液的配置简单且成分便宜、容易获取,大大降低了腐蚀成本,而且腐蚀后也容易清洗。

著录项

  • 公开/公告号CN112011340A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202010770914.1

  • 发明设计人 张轶;刘世光;谭振;刘震宇;孙浩;

    申请日2020-08-04

  • 分类号C09K13/02(20060101);H01L31/18(20060101);

  • 代理机构11010 工业和信息化部电子专利中心;

  • 代理人罗丹

  • 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号

  • 入库时间 2023-06-19 09:04:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-12-23

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C09K13/02 专利申请号:2020107709141 申请公布日:20201201

    发明专利申请公布后的驳回

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