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公开/公告号CN111996506A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 同济大学;
申请/专利号CN202010761773.7
发明设计人 黄秋实;王占山;齐润泽;张众;倪航剑;
申请日2020-07-31
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/14(20060101);G02B5/08(20060101);
代理机构31225 上海科盛知识产权代理有限公司;
代理人翁惠瑜
地址 200092 上海市杨浦区四平路1239号
入库时间 2023-06-19 09:01:25
机译: 使用软X射线多层膜反射镜的软X射线多层膜反射镜和具有投影光学系统的曝光设备
机译: 多层膜,半反射镜和光束分离器的反射镜,用于软X射线和真空紫外线
机译: X射线和设备的多层膜反射镜,采用了自动反射镜
机译:经过界面工程设计的超短周期Cr-Ti多层膜,可作为高反射率反射镜和偏振器,用于波长为2.74 nm的软X射线
机译:波长范围为0.41-15.5 nm的两反射镜的多层X射线反射镜的集合
机译:高反射率La / B多层反射镜,波长为6.x nm
机译:用于高通量X射线望远镜的薄箔X射线反射镜上多层膜的沉积和表征
机译:自组装的功能性粒子单分子层,用于光学涂层和漫反射镜的聚电解质多层膜上。
机译:动态自适应X射线光学器件。第二部分高速压电双压电晶片可变形Kirkpatrick-Baez反射镜可快速改变X射线束的二维尺寸和形状
机译:改善X射线反射镜用铂/碳多层膜的界面粗糙度
机译:软X射线分束器和高色散多层反射镜用作软X射线激光腔组件