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机器人手、晶片转移机器人和晶片转移装置

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摘要

提供了机器人手、晶片转移机器人和晶片转移装置。该机器人手包括：具有装载区的转移板；静电卡盘，配置为吸附设置在转移板的装载区上的晶片；以及加热元件，配置为加热转移板的装载区。

公开/公告号CN111916390A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-10

原文格式PDF
申请/专利权人三星电子株式会社;
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申请/专利号CN202010376703.X
发明设计人森谷义明;
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申请日2020-05-07
分类号H01L21/687(20060101);H01L21/683(20060101);H01L21/677(20060101);H01L21/67(20060101);B25J15/00(20060101);B25J9/04(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人张波
地址韩国京畿道
入库时间 2023-06-19 08:50:28

1. 机器人手、晶片转移机器人和晶片转移装置 [P] . 中国专利： CN111916390A . 2020-11-10
2. 晶片转移装置、腔体装置、晶片处理设备 [P] . 中国专利： CN113314447A . 2021-08-27
3. ROBOT HAND FOR TRANSFERRING A WAFER HAVING A SEALED COVER CAPABLE OF REDUCING THE DEFECT RATE OF WAFER [P] . 韩国专利： KR101303708B1 . 2013-09-03

机译：用于转移晶片的机器人手具有能够降低晶片缺陷率的密封盖
4. semiconductor wafer fabrication method for transfer of the wafer transport robots and equipment [P] . 韩国专利： KR20070033653A . 2007-03-27

机译：半导体晶片制造方法，用于转移晶片运输机器人和设备
5. TRANSFER ROBOT AND WAFER ARRAY SYSTEM USING THIS ROBOT [P] . 韩国专利： KR100466296B1 . 2005-01-13

机译：使用该机器人的转移机器人和晶片阵列系统