氮化铝基板用研磨剂组合物及氮化铝基板的研磨方法

摘要

本发明提供一种将氮化铝基板以高研磨速度精加工成良好的表面平滑性的氮化铝基板用研磨剂组合物。氮化铝基板用研磨剂组合物含有氧化铝粒子、脂肪族胺化合物、酸和/或其盐、以及水。另外，pH值(25℃)为7.5以上且小于11.5。