激光改性后氮化铝基板的可加工性研究

摘要

利用激光改性方法研究了被广泛应用在微电子组件封装中的氮化铝(AlN)陶瓷基板在不同气体环境、激光功率、扫描间隔下的可加工性,通过试验测量了AlN试件表面硬度值和元素含量.试验结果表明:在N2、Ar、O2三种气体环境下,试件表面成分主要为AlN、Al和Al2 O3,且显微硬度计测得Ar环境下的熔覆层硬度最低,最有利于后续切削加工.在Ar环境下,随着激光功率的增大和扫描间隔的减小,AlN表面改性后的硬度减小,最小值可达到174.83HV,更易进行切削加工.