基板安置部及包括该基板安置部的基板处理装置

摘要

本发明涉及一种基板安置部及包括该基板安置部的基板处理装置，基板安置部包括在平面上沿第一方向及交叉于所述第一方向的第二方向形成各边的四边形形状的内侧区域及围绕所述内侧区域的外侧区域。所述基板安置部包括：内侧加热线，布置于所述内侧区域，并包括最靠近所述外侧区域而布置的最外围加热线及相邻于所述最外围加热线而布置的相邻加热线；以及外侧加热线，布置于所述外侧区域。所述最外围加热线在所述内侧区域的所述四边形形状的边角部分向所述四边形形状的边角方向突出，从而在所述边角部分形成缩小所述最外围加热线和所述外侧加热线之间的距离的边角突出部。