确定在多反气室内形成线形光斑的方法、确定在多反气室内测试多种气体的方法及多反气室

摘要

本发明公开了一种确定在多反气室内形成线形光斑的方法，包括：设定第一反射镜与第二反射镜的相对距离范围，并基于预定距离间隔构建相对距离数组；针对相对距离数组中的每一个相对距离值，设定光线分别以预定初始入射点坐标和预定初始入射角度入射，并设定入射光线经过两个反射镜的中心对称轴上，以便在反射镜上形成的多个光斑构成线形光斑图案，并根据光学模型确定光线在多反气室内的路径；选择反射次数在预定反射次数范围内、且在线形光斑图案中光斑间距在预定光斑间距范围的路径作为第一候选路径，并获取相应的第一线形光斑图案；生成候选路径集合和候选线形光斑图案集合。此外，本发明还公开了确定在多反气室内测试多种气体的方法和多反气室。