一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列

摘要

本发明属于压力传感器技术领域，尤其为一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列，包括上电极层，所述上电极层内横向设有一组凹槽，且凹槽内固定设有上电极片，所述上电极层的下侧设有上压力敏感层，所述上压力敏感层的下端面阵列设有一组卡块，所述上压力敏感层的下侧设有下压力敏感层，所述下压力敏感层的上端面阵列设有与卡块相匹配的微结构，所述下压力敏感层的下端面固定连接有导电柔性层，所述导电柔性层内设有一组通孔。本发明通过上压力敏感层、卡块、下压力敏感层、微结构和导电柔性层，能够提高压阻式压力传感器的灵敏程度，提高压阻式压力传感器检测的精确性，还能够提高压阻式压力传感器的检测范围。