一种大量程压阻式压力传感器的设计

摘要

当今社会,计算机技术不断的发展,信息处理技术也随之不断的发展完善。而传感器作为提供信息的一种工具,它的发展就显得相对落后了。传感器技术是21世纪人们在高新技术发展方面争夺的一个制高点,在当代科技领域中占有十分重要的地位。人们开始越来越多的关注传感器技术。近年来,传感器技术的研究与开发取得了一定成果,但它远不能满足人们实际的需求,压力测量领域的发展更为迫胁。在现代工业自动化生产过程中,为了使设备工作在正常状态或最佳状态,并使产品达到最好的质量,必须运用各种传感器来监视和控制生产过程中的各个参数。因此,没有优良的传感器,现代化生产也就失去了根基,我国在20世纪90年代后将传感器的研究放在重要位置上。压阻式压力传感器也是传感器中最常用的一类传感器,但是性能不稳定,价格昂贵是我们面临的一个问题。如何让传感器不仅在航天领域广泛应用,在民用领域也有广阔市场呢,就需要我们生产的传感器高质量低成本。
　　本论文对压阻式压力传感器的原理进行了深入的研究,依据压阻效应原理,采用硅微机械加工技术,制作敏感探头,经过信号调理电路进行放大、归一化处理,输出所需要的信号。由于该传感器需要应用到恶劣的环境条件下,因此本设计对温度补偿电路进行了完善的设计,并充分考虑了传感器的电磁兼容性及可靠性,使传感器具有较高稳定性,能承受严酷的环境条件。本研究设计的压阻式压力传感器已通过试验考核合格,它的性能是其它传感器无法比拟的,它全金属结构可以承受严酷的环境条件。它具有结构简单,量程范围大、精度高、产品性能稳定及小型化等特点。由于该传感器价格低,因此在民用产品市场上也有广阔的应用前景。

目录

封面

中文摘要

英文摘要

目录

第1章 绪 论

1.1课题背景及研究的目的和意义

1.2压力传感器的概况

1.3压力传感器未来发展趋势

1.4本文的主要研究内容

第2章 压力传感器设计原理

2.1引言

2.2压阻式压力传感器原理

2.3压阻式压力传感器的工作原理

2.4本章小结

第3章 压力传感器设计方案

3.1 引言

3.2传感器结构设计

3.3温度补偿技术

3.4电路方案设计

3.5 电磁兼容性设计分析

3.6可靠性设计分析

3.7 工艺设计流程

3.8本章小结

第4章 试验结果

4.1引言

4.2试验结果

结论

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果

声明

致谢

个人简历