截取锥以及电感耦合等离子体质量分析装置

摘要

一种电感耦合等离子体质量分析装置(1)，其具备：离子化部(10)，其利用由原料气体生成的等离子体使试样离子化；真空腔，其被划分为第1空间(21)和第2空间(22、24)，该第1空间(21)维持在比大气压低的第1压力，该第2空间(22、24)维持在比该第1压力低的第2压力，并且容纳有用于对在所述离子化部生成的离子进行质量分离的质量分离部(241)、用于检测穿过该质量分离部(241)的离子的检测器(242)；以及截取锥(224)，其设于划分所述第1空间(21)与所述第2空间(22、24)的分隔壁的靠该第1空间(21)侧的位置，并且在其外周面或/和内周面沿周向形成有槽部(224a)。