一种基于UV-LIGA技术的微模具制造方法

摘要

本发明提供了一种基于UV‑LIGA技术的微模具制造方法，包括以下步骤：(a)清洗金属基底；(b)烘干金属基底；(c)倒胶；(d)旋涂；(e)前烘；(f)曝光；(g)后烘；(h)银镜镀膜；(i)显影；(j)坚膜；(k)电铸；本发明的镀导电金属膜工序在显影工序之前，有效地避免了微沟槽顶部被沉积的金属堵塞，达到改善微细结构电铸质量的目的，同时不需要昂贵的设备，成本低。