具有跑道型布置中的多个硅柱的高电压纵向半导体器件

摘要

一种半导体器件，包括虚设柱和多个跑道型柱。半导体材料的虚设柱沿第一横向方向延伸。包括半导体材料的多个跑道型柱围绕虚设柱。多个跑道型柱中的每一个均具有第一线性部段和第一圆形部段以形成跑道形状，该第一线性部段沿第一横向方向延伸。多个跑道型柱包括第一跑道型柱和第二跑道型柱。第一跑道型柱被设置成接近虚设柱，并且第二跑道型柱围绕第一跑道型柱。第一跑道型柱设置在虚设柱与第二跑道型柱之间。半导体器件包括多个间隔区，该多个间隔区包括第一间隔区，该第一间隔区围绕虚设柱并且设置在第一跑道型柱与虚设柱之间。