公开/公告号CN107087587A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-25
原文格式PDF
申请/专利权人 成都上甲光电科技有限公司;
申请/专利号CN201710502382.1
申请日2017-06-27
分类号A01M29/10(20110101);G05D27/02(20060101);
代理机构51227 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙);
代理人李顺德
地址 610000 四川省成都市天府新区华阳街道天府大道南段846号
入库时间 2023-06-19 03:06:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-19
实质审查的生效 IPC(主分类):A01M29/10 申请日:20170627
实质审查的生效
2017-08-25
公开
公开
机译: 紫外线激光装置,曝光装置以及具备该紫外线激光装置的检查装置
机译: 紫外线激光装置以及具备该紫外线激光装置的曝光装置和检查装置
机译: 紫外线激光装置,曝光装置以及具备该紫外线激光装置的检查装置