公开/公告号CN106226671A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201610606956.5
申请日2016-07-28
分类号G01R31/26;G01R31/00;
代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人吴世华
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
入库时间 2023-06-19 01:07:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-23
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R31/26 申请公布日:20161214 申请日:20160728
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-01-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/26 申请日:20160728
实质审查的生效
2016-12-14
公开
公开
机译: 大规模并行晶圆级可靠性系统和过程,用于大规模并行晶圆级可靠性测试
机译: 大规模并行晶圆级可靠性系统和大规模并行晶圆级可靠性测试过程
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