通过利用紫外线的激光结晶设施的Mura量化系统以及通过使用紫外线的激光结晶设施的Mura量化方法

摘要

本发明涉及Mura量化系统与方法，即，通过包括激光结晶装置的激光结晶设施实施的Mura量化系统，其中Mura量化装置设置在激光结晶设施中，使得基板通过激光结晶装置结晶，并且当结晶基板移动时利用紫外线源实时进行Mura量化，以及通过激光结晶设施的Mura量化方法。