公开/公告号CN106057881A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 罗伯特·博世有限公司;
申请/专利号CN201610226373.X
发明设计人 P.诺尔蒂;
申请日2016-04-13
分类号H01L29/772;G01N27/414;
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人梁冰
地址 德国斯图加特
入库时间 2023-06-19 00:45:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/772 申请日:20160413
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
机译: 用于场效应晶体管的氮化物半导体外延片,基于氮化物半导体的场效应晶体管以及制造用于场效应晶体管的氮化物半导体外延片的方法
机译: 在绝缘体上硅(SOI)晶片上形成具有嵌入式和多面源/漏应力源的平面场效应晶体管的方法,平面场效应晶体管结构和用于该平面场效应晶体管的设计结构
机译: 在绝缘体上硅(S0I)晶片上形成具有嵌入式和多面源/漏应力源的平面场效应晶体管的方法,平面场效应晶体管结构和用于该平面场效应晶体管的设计结构