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用于保护芯片选择性部分的刚性掩模及其使用

摘要

一种刚性掩模(10),用于保护用于生化反应的芯片(1)的选择性部分,芯片包括多个井(5),所述刚性掩模包括:支撑部分(12);以及多个支腿(14),每个支腿均设置有刚性芯柱(14a)和板(14b)。支腿(14)以与井(5)的空间布置呈镜面反射的方式相对于支撑部分(12)固定地布置,并且以以下方式配置:当每个支腿(14)插入到对应的井(5)中时,相应板(14b)至少部分地覆盖井的底部,从而在井的侧壁的化学/物理处理期间保护所述底部。

著录项

  • 公开/公告号CN105695300A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-06-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 意法半导体股份有限公司;

    申请/专利号CN201510587168.1

  • 发明设计人 A·布拉曼蒂;

    申请日2015-09-15

  • 分类号C12M1/00;

  • 代理机构北京市金杜律师事务所;

  • 代理人王茂华

  • 地址 意大利阿格拉布里安扎

  • 入库时间 2023-12-18 15:32:47

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-07-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):C12M1/00 申请日:20150915

    实质审查的生效

  • 2016-06-22

    公开

    公开

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