动态特性可调宏微一体化复合平台

摘要

本发明提出动态特性可调宏微一体化复合平台，当宏微平台动子同时驱动时，可实现整体大范围的高速运动；当出现运动偏差时，微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出，可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制，可以实现高速精密运动，安装使用方式与传统平台一致，方便推广应用，同时设置有刚度、频率调节机构和可变阻尼器，使微动平台在任意频率下能传递宏动平台运动且隔离振动，并实现高精度的位移补偿，同时可变阻尼器的阻尼大小与刚度频率参数配合，保证任意频率下的高精度位移补偿，提高工作频率范围。