摘要
第一章 绪论
1.1 课题背景及意义
1.2 宏微复合平台国内外研究现状
1.2.1 宏微复合运动平台概述
1.2.2 国内外研究现状
1.3 压电陶瓷驱动的微运动平台磁滞补偿概述
1.3.1 压电陶瓷非线性磁滞建模方法
1.3.2 压电陶瓷非线性磁滞补偿控制方法
1.4 论文研究内容
第二章 宏微复合运动平台与微运动预紧弹簧分析
2.1 引言
2.2 宏微复合运动平台
2.3 微运动平台组成
2.4 微运动平台弹簧预紧力分析
2.4.1 弹簧预紧力对微运动平台的影响
2.4.2 预紧弹簧的有限元分析
2.4.3 弹簧预紧力的确定
2.5 本章小结
第三章 微运动系统的磁滞非线性补偿
3.1 引言
3.2 Preisach磁滞模型概述及建立
3.3 Preisach磁滞模型离散化及实现方法
3.4 基于Preisach模型前馈补偿方法
3.4.1 Preisach模型前馈补偿方法
3.4.2 Preisach模型前馈和PID复合控制
3.5 基于Preisach模型前馈补偿实验研究
3.5.1 微运动平台的非线性yαβ测定
3.5.2 基于Preisach模型前馈补偿实验
3.6 本章小结
第四章 宏微复合运动平台的微运动动力学建模
4.1 引言
4.2 宏微复合运动平台的微运动系统描述
4.3 微运动系统动力学建模
4.3.1 压电陶瓷电路建模
4.3.2 微运动平台动力学建模
4.4 微运动系统动力学模型仿真结果及分析
4.5 微运动系统模型验证及结果分析
4.6 本章小结
第五章 宏微复合运动平台的实验研究
5.1 引言
5.2 宏微运动实验平台的搭建
5.3 宏运动平台的性能测试
5.4 微运动平台静、动态特性实验研究
5.4.1 微运动平台静态特性
5.4.2 微运动平台动态特性
5.5 本章小结
结论与展望
结论
展望
参考文献
攻读硕士学位期间取得的研究成果
声明
致谢