法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-22
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J23/06 申请公布日:20121017 申请日:20110407
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-12-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J23/06 申请日:20110407
实质审查的生效
2012-10-17
公开
公开
机译: 双透镜电子枪电子束设备,可同时使用高和低电子束电流进行高分辨率成像
机译: 双透镜电子枪束和用于高,低电子束电流的高分辨率成像的方法
机译: 双透镜电子枪束和用于高,低电子束电流的高分辨率成像的方法