基于激光反馈效应的三维形貌显微测量系统

摘要

本发明涉及一种基于激光反馈效应的三维形貌显微测量系统，半导体激光器出射光准直为平行光，再由显微物镜会聚，照射到被测物体表面上。半导体激光器的发光点与光束的焦点具有共轭成像关系。由焦点处产生的散射光可由物镜收集反馈回半导体激光器谐振腔，然而离焦面产生的反馈光，由于共轭关系被破坏而不能进入激活区，反馈光进入激光腔内后，消耗谐振腔内的载流子，使激光器发射功率降低，激光器发射功率变化表征了被测物体的形貌，计算机9通过数据采集卡采集光电探测器输出的电压信号，并保存为数据文件，再结合位置数据，用处理软件对三维扫描测量数据进行处理，可以重构被测物体三维结构。系统结构简单，可以显著降低设备成本低，实用性强。