一种提高电沉积中纳米颗粒复合量的沉积工艺

摘要

本发明公开一种提高电沉积过程中纳米颗粒复合量的沉积工艺，将作为阴极的芯模和作为阳极的第一相金属极分别放置于电镀液中，所述作为可溶性阳极的第一相金属极位于一环形阳极筐内，此环形阳极筐内侧开有若干通孔，所述第一相金属极由若干个第一相金属饼组成，此若干个第一相金属饼置于该阳极筐内，阳极筐内侧与所述芯模之间放置若干非导电硬质粒子，所述第一相金属饼和非导电硬质粒子直径均大于所述通孔直径；所述电镀液中混合有第二相的纳米颗粒；所述芯模作自旋运动。本发明大大提高了纳米颗粒在复合电铸层中的复合量以及复合电铸层的疲劳强度、耐磨性和耐腐蚀性。