公开/公告号CN102165097A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-08-24
原文格式PDF
申请/专利权人 东芝三菱电机产业系统株式会社;
申请/专利号CN200880131323.7
申请日2008-09-24
分类号C23C16/40;
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人刘多益
地址 日本东京
入库时间 2023-12-18 03:04:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-02
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C16/40 申请公布日:20110824 申请日:20080924
发明专利申请公布后的驳回
2011-10-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/40 申请日:20080924
实质审查的生效
2011-08-24
公开
公开
机译: 氧化锌(ZNO)膜或氧化镁锌膜(ZNMGO)膜的生产方法以及氧化锌膜或氧化镁锌膜的生产装置
机译: 形成氧化锌膜(ZNO)或氧化镁锌膜(ZNMGO)的方法和形成氧化锌膜或氧化镁锌膜的装置
机译: 氧化镁的膜沉积设备,氧化锌或锌膜的形成方法以及氧化镁锌膜或氧化锌膜(ZnMgO)