高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法

摘要

本发明提供一种高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法，包括如下步骤：步骤1：取一衬底；步骤2：在该衬底上依次生长材料层、介质层和金属层，在介质层和金属层界面处能够激发表面等离子体模式；步骤3：采用感应耦合等离子体刻蚀的方法或者剥离技术，依次将金属层、介质层和材料层刻蚀，形成周期性的条形光栅结构，完成器件的制作。