目视检查装置和目视检查方法

摘要

本发明提供一种对检查人员的熟练程度依赖较小、检查效率高的目视检查装置以及目视检查方法，以及具有这样的目视检查装置的检查系统。所述目视检查装置是具有使测试图案显示在检查对象面板上的单元的显示面板的目视检查装置，该目视检查装置具有：测试图案存储单元；取得自动检查装置所生成的自动检查结果信息的单元；根据所取得的上述自动检查结果信息，生成与自动检查装置判断为存在于检查对象面板上的缺陷有关的标记图案的单元；使所生成的标记图案与测试图案重叠的单元；以及使与标记图案重叠的测试图案显示在检查对象面板上的单元。