一种富锆的锆钛酸铅铁电(高温)-铁电(低温)相变薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明涉及对温度敏感的富锆的锆钛酸铅铁电(高温)-铁电(低温)相变薄膜材料，化学组成为Pb(Zr1-XTiX)O3，X＝0.03～0.099，厚度为600～1000nm。制备方法为，将铅盐、锆盐和钛盐溶于乙二醇或乙二醇甲醚，Pb∶Zr∶Ti的比例为1∶(1-X)∶X，形成Pb2+浓度为0.5～0.6mol/L的锆钛酸铅前驱体溶胶；经涂布成膜，330～360℃下预处理3～12分钟，630～670℃退火处理3～10分钟；在80～110℃的温度范围内，以2000～5000V/mm的电场强度极化5～10分钟。该材料不易碎裂，可在26-48℃附近发生铁电(高温)-铁电(低温)相变，体积小、热容小，有利于进一步提高换能效率。