用于非破坏性地确定薄膜中元素的分布轮廓的方法和系统

摘要

一种确定薄膜中元素的分布轮廓的方法。所述方法包括激发沉积于第一薄膜中的元素的电子能量以获取与所述电子能量相关联的第一能谱，并从所述第一能谱中去除背景能谱。移除所述背景值产生经处理的能谱。所述方法进一步包括通过能与第一薄膜比较的薄膜中的元素的已知模拟分布轮廓来将所述经处理的能谱与模拟能谱相匹配。基于将所述经处理的能谱与从模拟能谱组中选出的模拟能谱相匹配来获取所述第一薄膜中的元素的分布轮廓。