保管库、搬运系统以及保管库组

摘要

一种保管库，例如在暂时保管FOUP等货品的堆料机等保管库中，收容了用于制造半导体元件的各种基板的FOUP，可通过简单的结构有效地对货品进行出入库，或有效地进行保管库内搬运。保管库(10)包括：支撑部(11)，能够支撑货品(3)；水平驱动部(13)，能够使支撑部沿水平一侧方向往复移动；铅直驱动部(14)，能够使支撑部沿铅直方向往复移动；以及多个货架(15)，其具有载置面，在能通过铅直驱动部使支撑部到达的铅直方向上的多个阶段，在能通过水平驱动部到达的水平位置上各设置一个或两个以上的货架，并且分别构成为能在货架与支撑部之间相互输送货品。多个载置面中至少一个作为货品的出入库用库口而发挥作用。

说明书

技术领域

本发明涉及一种保管库的技术领域，该保管库，其在轨道上搬运例如收容制造半导体元件用的各种基板的FOUP(Front Opening UnifiedPod，晶圆盒)等的货品的搬运系统中，将货品暂时保管在邻接轨道的位置。

背景技术

这种保管库，铺设在邻接于运载工具等的搬运车所移动的轨道旁，在保管库内设置有多个货架部分，以保管多个经由搬运车搬运的货品。并且，设有用于在使货品在这种保管库内与搬运车之间进行交付或取出放入(即，出入库)的“库口”与规定的货架部分之间进行货品搬运(即，保管库内搬运)的、被称作堆料机器人或堆料吊车等的保管库内搬运装置。特别是通过堆料机器人等，可在包括无数量限制的多个货架部分的保管库内进行搬运(参照专利文献1及2)。

另一方面，在这种保管库中，也有比较小型的保管库，其可将货品从顶部悬吊型的搬运车上，直接输送至可沿铅直方向多阶段排列的货架部分的侧面升降的升降台上。在这种保管库中，在进行出库时，货品直接从升降台上输送往搬运车(参照专利文献3)。

专利文献1：日本特开2006-049454号公报

专利文献2：日本特开2003-182815号公报

专利文献3：日本特开2004-238191号公报

发明内容

然而，根据上述专利文献1及2，第一，存在下述技术问题：堆料机器人等的保管库内搬运装置，控制及构造基本上日趋复杂、高成本，且维护时也需花费工时及成本。

此外，根据上述的专利文献1及2，第二，为了进行保管库的维护，在保管库的周围必须确保约1m的空间。因此，在沿着轨道配置的各座保管库之间、以及保管库与制造装置之间，空出了进行维修时才会使用的多余空间。况且，保管库作为工厂内的其中一种大型设备，其必须在工厂内部将各种零件搬入、组装、安装。此外，堆料机器人等的保管库内搬运装置，存在其控制及构造基本上日趋复杂、高成本、且维护时也需花费工时及成本的问题。

另一方面，根据上述专利文献3，升降台本身作为用以出入库的库口，不论是入库时将货品从搬运车悬吊而至升降台上为止定位的同时将货品卸下、或在出库时由搬运车从升降台吊起，都需要花费时间。特别当升降台并非位于上方的交付位置的话，则耗费使升降台向该位置移动的时间，而且在位于下方的升降台进行交付也有困难。此外，特别因为在这样需费时进行出入库的作业中独占使用升降台，因而不能使用升降台将其他货品搬运至保管库内。另外，在这种使滚轮、输送带、导向器等组合，在升降台上进行出入库的机构中，存在将升降台与货品对齐的同时快速进行出入库及保管库内搬运在根本上困难的技术问题。

本发明是例如鉴于上述问题作出的，其第1课题为提供一种保管库，通过简单的结构就能够效率地进行货品的出入库，或有效地在保管库内搬运。

此外，本发明是例如鉴于上述问题作出的，其第2课题为提供一种保管库以及具有这种保管库的保管库搬运系统，该保管库，可在沿着轨道的窄小空间配置，且维护也较为容易，也可以通过简单的结构，有效地进行货品的出入库、或有效地在保管库内搬运。

为了解决上述课题，本发明的第1保管库，包括：支撑部，能够支撑货品；水平驱动部，能够使上述支撑部沿水平一侧方向往复移动；铅直驱动部，能够使上述支撑部沿铅直方向往复移动；以及多个货架，其具有载置面，在能通过上述铅直驱动部使上述支撑部到达的上述铅直方向上的多个阶段，在能通过上述水平驱动部到达的水平位置上各设置一个或两个以上的货架，并且分别构成为能在上述货架与上述支撑部之间相互输送货品；上述多个载置面中至少一个作为上述货品的出入库用库口发挥作用。

在该方式中，上述支撑部为具有能从底侧支撑上述货品的第1载置面的载置部；上述多个载置面分别为第2载置面，其构成为使上述货品能够相互在上述第1载置面与第2载置面与之间输送。

根据本发明的第1保管库，货架具有在铅直方向上配置有一列或多列的多个载置面(即第2载置面)。例如，在铅直方向上有m阶段(其中，m是2以上的自然数)、在水平一侧方向有n列(其中，n是1以上的自然数)，且在与其垂直的剩余的水平一侧方向(以下简称为“厚度方向”)上仅有1列的情况下，货架整体的骨架构成为薄且呈纵向细长的平板形状。支撑部(即为载置部)构成为，例如在该第1载置面上放置货品的状态下，能够在该保管库内，通过铅直驱动部及水平驱动部，沿着铅直方向以及水平一侧方向该两方向或双轴方向移动货品。

入库时，货品从搬运车向作为库口发挥作用的第2载置面上输送。接着，输送至作为库口发挥作用的第2载置面上的货品，被载置在可沿双轴方向移动的载置部的第1载置面上。例如，第1以及第2载置面构成为支撑着货品底面的不同的部分(典型的情况下为靠近中央的部分与靠近周边的部分)，且可用任意一方支撑货品。当载置部移动至作为库口发挥作用的第2载置面存在的铅直位置及水平位置时，作为库口发挥作用的第2载置面被代替而通过第1载置面支撑，可进行从第2载置面向第1载置面的输送。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面高的地方，货品被第1载置面支撑。由此，开始进行入库时的保管库内搬运。在这里，通过铅直驱动部以及水平驱动部进行简单的双轴动作，在货架的任何一个第2载置面都能够迅速地进行保管库内搬运。

接着，当载置部移动至要在保管中使用的第2载置面存在的铅直位置及水平位置时，代替第1载置面而通过第2载置面支撑，进行从第1载置面向第2载置面的输送。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面低的地方，货品被第2载置面支撑。由此，入库时的保管库内搬运结束，开始货架中的保管。

另一方面，在出库时，载置部移动至载置有即将出库的货品的第2载置面存在的铅直位置及水平位置。接着，代替第2载置面而通过第1载置面支撑，进行从第2载置面向第1载置面的移动。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面高的地方，货品被第1载置面支撑。由此，开始出库时的保管库内搬运。接着，载置部被移动至作为库口发挥作用的第2载置面存在的铅直位置及水平位置。在这里，通过铅直驱动部以及水平驱动部进行简单的双轴动作，在任何一个第2载置面都能够迅速地进行保管库内搬运。

接着，代替第1载置面而通过作为库口发挥作用的第2载置面支撑，进行从第1载置面向作为库口发挥作用的第2载置面的输送。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面来低的地方，货品被第2载置面支撑。由此出库时的保管库内搬运结束，成为可从库口向搬运车输送的状态。

其后，通过已待机在面对库口的轨道上位置或是接着将到达该位置的搬运车，进行从库口向搬运车的输送。

综合上述的结果，由于库口为第2载置面中至少一个，因此即使在载置部进行保管库内搬运的过程中，只要此作为库口发挥作用的第2载置面上没有载置货品，即可能执行从搬运车向库口的输送。相反地，即使在载置部进行保管库内搬运的过程中，也可以能执行从库口向搬运车的输送。而且，通过由驱动部向双轴方向移动的载置部的较为简单的构成及简单的控制，保管库内搬运不会妨碍库口与搬运车之间的输送作业而执行该输送。此外，此保管库在铅直方向与水平一侧方向具有广度，且在厚度方向结构也可以极薄(例如，其厚度薄得与一个货品的宽度加上若干机构用的宽度相同)。因此，即使沿着搬运车的轨道的较小间隙，只要适当符合此厚度方向，即可以将此保管库插入的形式进行配置。此外，根据间隙的宽度，在厚度方向配置多个并列的薄型保管库也是可以的。此外，通过实现小型化，可以移动保管库全体，因而也更易于维护。

如此一来，即使沿着轨道的较小间隙也可配置，且易于维护，能够通过简单的结构有效地进行货品的出入库、或有效地进行保管库内运送。

此外，支撑部不限于在输送时支撑货品底部的结构，也可构成为支撑或保持安装于货品顶部的凸缘等。

在本发明的第1保管库的一个方式中，货架在各阶段分别具有两个载置面，以能够使支撑部分别向水平一侧方向的两侧移动时能够支撑上述货品。

根据此方式，例如，在铅直方向上有m阶段、在水平一侧方向有2列、且厚度方向上仅有一列的情况下，货架整体的骨架构成为薄且呈纵向细长的平板形状。特别是对于同一阶段中存在有2个的载置面(第2载置面)之间的保管库内搬运，可以通过水平驱动部的水平移动来简单且迅速地进行。并且，与在同一阶段逐一设置第2载置面的情况相比，能够提高保管容量的同时也能够更有效地利用水平驱动部及铅直驱动部的作用，因而能够提高搬运效率。

其中，货架构成为在各阶段逐一具有第2载置面，以在载置部向水平一侧方向的一端侧移动时能支撑货品，也可以得到相应于上述本发明的效果。

在本发明的第1保管库的其它方式中，上述货架的上述载置面中位于上述货架最顶层的至少一个作为上述库口发挥作用。

根据此方式，当搬运车在铺设在保管库上侧的轨道上移动时，将货品从搬运车向库口输送的作业就变得简单。同样地，将货品从库口向搬运车输送的作业也变得简单。此外，当最顶层存在2个载置面(第2载置面)的情况下，可以使这二个分别作为库口发挥作用，也可仅有一个作为库口发挥作用。

在本发明的第1保管库的其它方式中，第1载置面也可作为库口发挥作用。

根据此方式，不仅是第2载置面，第1载置面也作为库口发挥作用，因而能够增加进行出入库的机会，便可依据搬运车的状况进行更迅速的输送。

在本发明的第1保管库的其它方式中，上述载置部向上述一端侧移动时，上述第1载置面及第2载置面从上述铅直方向看来相互具有互补的平面形状。

根据此方式，例如由平面观察时，若第1载置面为马蹄形、第2载置面则为填满该马蹄形中央的岛形等；或者，相反地第2载置面为马蹄形时、第1载置面则为填满该马蹄形中央的岛形等，当载置部向一端侧移动时，即在第1载置面与第2载置面之间进行输送时，由平面观察时具有互补的平面形状。此外，互补的平面形状可为不相互接触的锯齿状，也可为靠近中央的部分与靠近周边的部分。不论是何种情况，货品可由其中一个载置面来支撑。其结果，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面高的地方，货品被第1载置面支撑；或者是，通过铅直驱动部移动第1载置面以使第2载置面高于第1载置面时，货品被第2载置面支撑。因此，载置面之间的输送，可由非常简单的双轴动作达成。

此外，即使第1载置面与第2载置面并不具有这样的互补的平面形状，通过导入其它的补助性保持机构或输送机构，可在第1以及第2载置面之间进行输送。

在本发明的第1保管库的其它方式中，在上述货品的底面具有规定的凹凸；上述第1载置面及第2载置面各自具有能与上述凹凸扣合的凹凸。

根据此方式，因利用货品底面具有的规定的凹凸，能够在位置精度高的状态下执行第1及第2载置面之间的输送。此外，作为这样的凹凸，可列举设置在收容制造半导体时的各种基板的FOUP底面的凹凸。

在本发明的第1保管库的其它方式中，上述保管库相对于上述轨道进行配置，以使上述水平一侧方向的方位相对于搬运车搬运上述货品的轨道方位平行。

根据此方式，在工厂内沿着墙壁且接近壁面铺设轨道，墙壁造成阻碍无法设置一般保管库的情况下，将本发明的保管库配置成使水平一侧方向的方位相对于轨道的方位平行。此时，轨道距墙壁分离容易变薄的保管库的厚度方向的厚度的量，就能够毫无问题地配置保管库。换言之，将轨道铺设成距墙壁保管库的厚度方向的厚度的量即可。

在此方式中，上述保管库被配置成使上述货架位于上述轨道的下方；上述货架，在位于上述货架最顶层而作为上述第2载置面的两个中，位于上述轨道的上游侧的一方作为上述入库用的库口发挥作用，并且位于上述轨道的下游侧的另一方作为上述出库用的库口发挥作用。

根据此结构，能够进行下述工序：将货品刚从搬运车向位于上游侧的入库用的库口输送之后，由该输送成为空载的搬运车，移动至位于下游侧的出库用的库口，将货品从此库口向搬运车输送。即，出入库的效率可大幅提高。

如以上说明，根据本发明的保管库，通过简单的结构便能有效地进行货品的出入库、或有效地进行保管库内运送。

为了解决上述课题，本发明的第2保管库，其在与在轨道上搬运货品的搬运车之间进行上述货品的出入库，其特征在于，包括：驱动单元，能够将上述货品沿水平一侧方向往复移动，且沿铅直方向往复移动；以及货架，在上述铅直方向上跨越多个阶段对应每个阶段，在上述水平一侧方向上具有多个能够收容或载置由上述驱动单元移动的货品的货架部分；上述保管库相对于上述轨道进行配置，以使上述水平一侧方向的方位相对于上述轨道的方位正交。

在本发明的第2保管库的一个方式中，上述搬运车为顶部移动车，其沿铺设于顶部的上述轨道移动；上述货架相对于上述轨道进行配置，以使其位于上述轨道的下方。

根据本发明的第2保管库，在入库时，当货品例如从作为顶部移动车的搬运车向保管库的出入库库口输送时，该货品则例如通过具有铅直驱动部及水平驱动部的驱动单元移动至所期望的货架部分。即进行保管库内搬运。在出库时，货品通过驱动单元从所期望的货架部分进行保管库内搬运。之后，当货品移动至保管库的出入库库口时，就进行向搬运车的输送。

在本发明中特别是，货架，在上述铅直方向上跨越多个阶段对应每个阶段，在上述水平一侧方向上具有多个货架部分，驱动单元，能够与这样的货架对应地，将货品向沿水平一侧方向往复移动的同时沿铅直方向往复移动。因此，通过铅直方向以及水平一侧方向的双轴运动，可将货品从出入库用的库口(或其它货架部分)向存在多个的货架部分中所期望的货架部分进行保管库内搬运。或者是，通过铅直方向以及水平一侧方向的双轴运动，从存在多个的货架部分中所期望的货架部分，可将货品向出入库用的库口(或其它货架部分)进行保管库内搬运。

例如，货架整体的骨架的构成为：在铅直方向上有m阶段(其中，m是2以上的自然数)、在水平一侧方向有n列(其中，n是2以上的自然数)、且与其垂直的剩余的水平一侧方向(以下简称为“厚度方向”)上仅有一列的情况下，形成较薄的平板形状。

在这里，在一般铺设有轨道的半导体制造工厂等的工厂内，为了在有限的空间中进行各种工序、以及试图缩短轨道以提高工序间移动的速度等基本需求，可能出现将进行各种工序的装置、以及与此保管库不同的堆料机等沿着轨道铺设在狭窄处的情况。换言之，需沿着轨道铺设的装置等，有时需尽可能设计得无间隙。另一方面，被称为堆料机等的保管库，基本上属于大型设备而组装于工厂内部以作为设备的一部分，不容易在装配后变更，若当初的设计没有间隙则就更困难了。或者说，对于传统的大型保管库，其周围需留有例如沿着轨道空下约1m的维护用空间。换言之，包括这个维护用空间，装置等沿着轨道无间隙地配置。此空间除了维护时以外可说是无用的空间。

然而，根据本发明，货架相对于轨道配置成使其位于轨道的下方，且使水平一侧方向的方位相对于轨道的方位相交，优选正交。因此，本发明的保管库可通过插入的方式，配置在沿着工厂内铺设的轨道的方向上的各种装置等之间的间隙，因而极为便利。换言之，即使其设计是在沿轨道铺设的装置等之间留下少数间隙，只要利用本发明的第2保管库，即可得到充分的容纳空间。而且，保管库内搬运，如上述上述地沿厚度方向较薄伸展，即相对于多个阶段且于各阶段有多个货架部分的货架而言，通过双轴方向的运动，即可极为有效地进行。特别是，即使厚度方向较薄，在停止铅直方向移动的状态下，各阶段的多个货架部分间的移动可通过水平一侧方向的移动来进行。此外，与同一阶段分别设置一个货架部分的情况相比，其可提高保管容量，且可通过双轴移动更加有效地利用，而可提高搬运效率。

同时，即使厚度方向较薄，关于跨越多个阶段的货架部分间的移动可以如下进行：将货品移动至能够向铅直方向移动的水平一侧方向位置之后，停止相关的水平一侧方向的移动，在此状态下进行铅直方向移动，之后通过水平一侧方向的移动来进行。

另一方面，进行保管库的维护时，若是将这类薄型的保管库，向与轨道相交的方向拉出，使之离开紧密地配置了各种装置等的轨道附近，即可容易构筑出维护用的空间。无需如传统保管库一样在保管库周围设置约1m的维护用空间。此时特别是将其构成为可移动的薄型保管库整体，以其重量上而言具有充分的实践意义。

如上所述，即使在沿着搬运车轨道的较小间隙，此保管库也可以通过插入的方式进行配置。此时，货架即使在厚度方向较薄，收容效率也极高，且搬运效率也极高。此外，此薄型保管库可根据间隙的宽幅在厚度方向并列地配置多个。并且，为了达到小型化，既可将保管库整体进行移动，特别使维护易于进行。例如，此保管库在铅直方向与水平一侧方向具有广度的同时关于厚度方向构成得极薄(例如，其厚度薄得与一个货品的宽度加上若干机构用的宽度相同)，因此可插入此厚度的间隙。

在本发明的第2保管库的其它方式中，上述驱动单元，包括：支撑部，能够支撑上述货品；水平驱动部，能够使上述支撑部沿水平一侧方向往复移动；以及铅直驱动部，能够使上述支撑部沿铅直方向往复移动；上述货架，作为上述货架部分具有载置面，上述载置面对应每个阶段在能通过上述水平驱动部到达的水平位置上设有多个，并且分别构成为能在上述货架与上述支撑部之间相互输送上述货品。

在此方式中，上述支撑部为具有能从底侧支撑上述货品的第1载置面的载置部；上述载置面为第2载置面，其构成为使上述货品能够相互在上述第1载置面与第2载置面与之间输送。

根据此方式，在入库时，例如货品从搬运车向作为出入库库口发挥作用的第2载置面上输送。接着，被输送至作为库口发挥作用的第2载置面上的货品，载置于能够沿双轴方向移动的载置部的第1载置面。例如，第1以及第2载置面构成为支撑着货品底面的不同的部分(典型的情况下，靠近中央的部分与靠近周边的部分)，也可以由任一方支撑货品。当载置部移动至作为库口发挥作用的第2载置面存在的铅直位置及水平位置时，代替作为库口发挥作用的第2载置面通过第1载置面支撑，进行从第2载置面向第1载置面的输送。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面高的地方，货品通过第1载置面支撑。由此，开始入库时的保管库内搬运。在这里，通过铅直驱动部以及水平驱动部进行简单的双轴动作，在货架的任何第2载置面都能够迅速地进行保管库内搬运。

接着，当载置部移动至要在保管中使用的第2载置面存在的铅直位置及水平位置时，代替第1载置面而通过第2载置面支撑，进行从第1载置面向第2载置面的输送。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面低的地方，货品被第2载置面支撑。由此，入库时的保管库内搬运结束，开始货架中的保管。

另一方面，在出库时，载置部移动至载置有即将出库的货品的第2载置面存在的铅直位置及水平位置。接着，代替第2载置面而通过第1载置面支撑，进行从第2载置面向第1载置面的移动。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面高的地方，货品被第1载置面支撑。由此，开始出库时的保管库内搬运。接着，载置部被移动至作为库口发挥作用的第2载置面存在的铅直位置及水平位置。在这里，通过铅直驱动部以及水平驱动部进行简单的双轴动作，在任何一个第2载置面都能够迅速地进行保管库内搬运。

接着，代替第1载置面而通过作为库口发挥作用的第2载置面支撑，进行从第1载置面向作为库口发挥作用的第2载置面的输送。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面来低的地方，货品被第2载置面支撑。由此出库时的保管库内搬运结束，成为可从库口向搬运车输送的状态。

其后，通过已待机在面对库口的轨道上位置或是接着将到达该位置的搬运车，进行从库口向搬运车的输送。

综合上述的结果，可通过由驱动单元向双轴方向移动的载置部的较为简单的构成及简单的控制，就能够执行保管库内搬运。而且，由于当进行搬运车与库口之间的输送的过程中，还可以通过驱动单元进行保管库内搬运，因而保管库内的搬运效率也大幅提高。

在本发明的第2保管库的其它方式中，上述货架，使上述货架部分中至少一个作为上述出入库用的库口发挥作用。

在本发明的第2保管库的其它方式中，上述货架，使上述货架部分中位于上述货架最顶层的至少一个作为上述出入库用的库口发挥作用。

根据此方式，当搬运车在铺设在保管库上侧的轨道上移动时，将货品从搬运车向库口输送的作业就变得简单。同样地，将货品从库口向搬运车输送的作业也变得简单。此外，当最顶层存在2个载置面的情况下，可以使这二个分别作为库口发挥作用，也可仅有一个作为库口发挥作用。

在此方式中，上述轨道，在上述保管库的上游侧分支；上述货架配置于上述轨道的下方，上述货架部分中位于上述货架最上层的两个，相对于分支后的上述轨道，分别作为上述库口发挥作用。

根据此结构，因为出入库用的库口在保管库的最顶层存在有2个，因而可在该两处同时进行入库作业(即，从搬运车向库口的输送)、也可在两处同时进行出库作业(即，从库口向搬运车的输送)、也可同时并行入库作业及出库作业，显著提高输送效率。而且，此时厚度方向较薄的同时可通过双轴方向的移动进行保管库内搬运，不会牺牲本发明的保管库的特性。

为了解决上述课题，本发明的第1带保管库的搬运系统，具有上述的本发明的保管库(其中，包括其各种方式)、上述轨道以及上述搬运车。

根据本发明第1带保管库的搬运系统，由于具有上述的本发明的保管库，因而在保管库中的收容效率极高，且搬运效率也极高。此外，保管库整体也可以进行移动，特别使得维护更加容易。

为了解决上述课题，本发明的保管库组，由多个分别与在轨道上搬运货品的搬运车之间进行上述货品的出入库的保管库组成，其特征在于，上述多个保管库分别包括：驱动单元，能够将上述货品沿水平一侧方向往复移动，且沿铅直方向往复移动；以及货架，在上述铅直方向上跨越多个阶段对应每个阶段，在上述水平一侧方向上具有一个或多个能够收容或载置由上述驱动单元移动的货品的货架部分；上述多个保管库排列成与上述水平一侧方向一致，且使上述货品的上述出入库用的库口并排为一列。

根据本发明的保管库组，当货品在入库时，从搬运车向构成此保管库组的各个保管库的出入库用库口输送时，此货品通过例如具有铅直驱动部以及水平驱动部的驱动单元向所期望的货架部分输送。即，进行保管库内搬运。在出库时，货品通过驱动单元，从所期望的货架部分进行保管库内搬运。之后，当货品移动至该保管库组的库口时，即进行向搬运车的输送。

在本发明中特别是，货架，在上述铅直方向上跨越多个阶段对应每个阶段，在上述水平一侧方向上具有一个或多个货架部分，驱动单元，能够与这样的货架对应地，将货品向沿水平一侧方向往复移动的同时沿铅直方向往复移动。因此，通过铅直方向以及水平一侧方向的双轴运动，可将货品从出入库用的库口(或其它货架部分)向存在多个的货架部分中所期望的货架部分进行保管库内搬运。或者是，通过铅直方向以及水平一侧方向的双轴运动，从存在多个的货架部分中所期望的货架部分，可将货品向出入库用的库口(或其它货架部分)进行保管库内搬运。

至于各个保管库而言，例如，货架整体的骨架的构成为：在铅直方向上有m阶段(其中，m是2以上的自然数)、在水平一侧方向有n列(其中，n是2以上的自然数)、且与其垂直的剩余的水平一侧方向(以下简称为“厚度方向”)上仅有一列的情况下，形成较薄的平板形状。

在这里，在一般铺设有轨道的半导体制造工厂等的工厂内，为了在有限的空间中进行各种工序、以及试图缩短轨道以提高工序间移动的速度等基本需求，可能出现将进行各种工序的装置、以及与此保管库不同的堆料机等沿着轨道铺设在狭窄处的情况。换言之，需沿着轨道铺设的装置等，有时需尽可能设计得无间隙。另一方面，被称为堆料机等的保管库，基本上属于大型设备而组装于工厂内部以作为设备的一部分，不容易在装配后变更，若当初的设计没有间隙则就更困难了。或者说，对于传统的大型保管库，其周围需留有例如沿着轨道空下约1m的维护用空间。换言之，包括这个维护用空间，装置等沿着轨道无间隙地配置。此空间除了维护时以外可说是无用的空间。

然而，根据本发明，多个保管库排列成使水平移动的水平一侧方向一致，切出入库用的库口并排为一列。因此，通过在一条轨道上移动的搬运车，使得在任一座保管库之间通过库口进行的出入库作业变得简单。通过在同一条轨道上的多个搬运车，也可以在多个保管库之间进行出入库作业。或者是，刚在一座保管库卸下货品的搬运车，可通过其在另一座保管库装载货品。

并且，仅使与沿着工厂内铺设的轨道的方向上的各种装置等之间的间隙对应的数量的保管库组合，将本发明的保管库组可通过插入的方式进行配置，在实用上极为便利。换言之，不论其设计成沿着轨道铺设的装置等之间的间隙较大、或是留下小间隙，只要利用本发明的保管库组，即可得到充分的容纳空间。而且，在各个保管库内进行的保管库内搬运，如上述上述地向厚度方向较薄地伸展，即通过相对于跨越多个阶段且在各阶段具有多个货架部分的货架的双轴方向的运动，极具效率地进行。特别是，即使厚度方向较薄，在停止铅直方向移动的状态下，各阶段的多个货架部分间的移动可通过水平一侧方向的移动来进行。

同时，即使厚度方向较薄，关于跨越多个阶段的货架部分间的移动可以如下进行：将货品移动至能够向铅直方向移动的水平一侧方向位置之后，停止相关的水平一侧方向的移动，在此状态下进行铅直方向移动，之后通过水平一侧方向的移动来进行。

另一方面，进行保管库的维护时，若是将从仅如上所述地组合所希望数量的保管库组，作为各个保管库将薄型的保管库，与其他保管库独立地拉出，即可容易构筑出维护用的空间。无需如传统保管库一样在保管库周围设置约1m的维护用空间。此时特别是将其构成为可移动的薄型的各个保管库整体，以其重量上而言具有充分的实践意义。

如上所述，无论是沿着搬运车的轨道的较小的间隙，还是较大的间隙，此保管库组都可以通过插入的方式进行配置。此时，关于各个保管库，货架即使在厚度方向较薄，收容效率也极高，且搬运效率也极高。此外，由于此薄型保管库可根据间隙的宽幅在厚度方向并列地配置多个，因而实用上极其便利。并且，将其构成为可从保管库组中拉出各个保管库也极为容易，使得对于各个保管库的维护也变得容易。例如，此保管库在铅直方向与水平一侧方向具有广度的同时关于厚度方向构成得极薄(例如，其厚度薄得与一个货品的宽度加上若干机构用的宽度相同)，只要根据此厚度的整数倍数，就可将此保管库组适当地插入沿着轨道的间隙。

在本发明的保管库组的一个方式中，上述驱动单元，包括：支撑部，能够支撑上述货品；水平驱动部，能够使上述支撑部沿水平一侧方向往复移动；以及铅直驱动部，能够使上述支撑部沿铅直方向往复移动；上述货架，作为上述货架部分具有载置面，上述载置面对应每个阶段在能通过上述水平驱动部到达的水平位置上设有多个，并且分别构成为能在上述货架与上述支撑部之间相互输送上述货品。

在此方式中，上述支撑部为具有能从底侧支撑上述货品的第1载置面的载置部；上述载置面为第2载置面，其构成为使上述货品能够相互在上述第1载置面与第2载置面与之间输送。

根据此方式，在入库时，例如货品从搬运车向作为出入库库口发挥作用的第2载置面上输送。接着，被输送至作为库口发挥作用的第2载置面上的货品，载置于能够沿双轴方向移动的载置部的第1载置面。例如，第1以及第2载置面构成为支撑着货品底面的不同的部分(典型的情况下，靠近中央的部分与靠近周边的部分)，也可以由任一方支撑货品。当载置部移动至作为库口发挥作用的第2载置面存在的铅直位置及水平位置时，代替作为库口发挥作用的第2载置面通过第1载置面支撑，进行从第2载置面向第1载置面的输送。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面高的地方，货品通过第1载置面支撑。由此，开始入库时的保管库内搬运。在这里，通过铅直驱动部以及水平驱动部进行简单的双轴动作，在货架的任何第2载置面都能够迅速地进行保管库内搬运。

接着，当载置部移动至要在保管中使用的第2载置面存在的铅直位置及水平位置时，代替第1载置面而通过第2载置面支撑，进行从第1载置面向第2载置面的输送。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面低的地方，货品被第2载置面支撑。由此，入库时的保管库内搬运结束，开始货架中的保管。

另一方面，在出库时，载置部移动至载置有即将出库的货品的第2载置面存在的铅直位置及水平位置。接着，代替第2载置面而通过第1载置面支撑，进行从第2载置面向第1载置面的移动。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面高的地方，货品被第1载置面支撑。由此，开始出库时的保管库内搬运。接着，载置部被移动至作为库口发挥作用的第2载置面存在的铅直位置及水平位置。在这里，通过铅直驱动部以及水平驱动部进行简单的双轴动作，在任何一个第2载置面都能够迅速地进行保管库内搬运。

接着，代替第1载置面而通过作为库口发挥作用的第2载置面支撑，进行从第1载置面向作为库口发挥作用的第2载置面的输送。在典型的情况下，通过铅直驱动部将第1载置面移动至比第2载置面来低的地方，货品被第2载置面支撑。由此出库时的保管库内搬运结束，成为可从库口向搬运车输送的状态。

其后，通过已待机在面对库口的轨道上位置或是接着将到达该位置的搬运车，进行从库口向搬运车的输送。

综合上述的结果，可通过由驱动单元向双轴方向移动的载置部的较为简单的构成及简单的控制，就能够执行保管库内搬运。而且，由于当进行搬运车与库口之间的输送的过程中，还可以通过驱动单元进行保管库内搬运，因而保管库内的搬运效率也大幅提高。

在本发明的保管库组的其它方式中，上述保管库组相对于上述轨道进行配置，以使上述一列沿上述轨道并排。

在此方式中，上述搬运车为顶部移动车，其沿铺设于顶部的上述轨道移动；上述货架相对于上述轨道进行配置，以使其位于上述轨道的下方。

根据此方式，由于出入库用的库口沿着轨道并排为一列，因而通过在一条轨道上移动的搬运车(即，顶部移动车)，可相对于任一个保管库的库口进行入库作业(即，从搬运车向库口的输送)，显著提高输送效率。而且，此时各个保管库在厚度方向较薄的同时可通过双轴方向的移动进行保管库内搬运，不会损害通过将这种保管库沿着轨道并排而能够得到的上述的利益。

在本发明的保管库组的其它方式中，上述保管库组相对于上述轨道进行配置，以使上述水平一侧方向的方位相对于上述轨道的方位正交。

根据此结构，能够最有效地利用沿着轨道存在的空间。其中，在这里所称的“正交”为在理想状态下如字面上述的正交，但只要能够有效利用空间，其为还包含视为直交的程度，即实质上直交的含义。而且，在轨道并非直线的情况下，也包含各轨道上的地点与切线方向正交的情况。

在本发明的保管库组的其它方式中，上述货架，使上述货架部分中上述货架最顶层的至少一个作为上述库口发挥作用。

根据此方式，当搬运车在铺设在保管库上侧的轨道上移动时，将货品从该搬运车向库口输送的作业变得简单。同样地，将货品从库口向搬运车输送的作业也变得简单。此外，当最顶层存在2个货架部分的情况下，可以这二个分别作为库口发挥作用，也可仅有一个作为库口发挥作用。

为了解决上述课题，本发明的第2带保管库的搬运系统，具有上述的本发明的保管库组(其中，包括其各种方式)、上述轨道以及上述搬运车。

根据本发明具有保管库的第2搬运系统，由于具有上述的本发明的保管库组，因而能够沿着轨道没有浪费或有效地配置保管库，同时在各个保管库内，收容效率极高，且搬运效率也极高。能够与保管库组的其他保管库分离而使各个保管库移动，特别使得维护更加容易。

本发明的作用及其它优点可从在以下说明的实施方式中了解。

附图说明

图1是表示具有第1实施方式的保管库的搬运系统的外观的透视图。

图2是表示第1实施方式的保管库的内部构造的剖视图。

图3是表示第1实施方式的第1载置面以及第2载置面的扣合状态的剖视图。

图4是表示第1实施方式的载置部向水平一侧方向的动作状态的俯视图。

图5是表示具有第2实施方式的保管库的搬运系统的外观的透视图。

图6是表示第1实施方式的保管库在实用上的配置状态的俯视图。

图7是表示第3实施方式的搬运系统的轨道的俯视图。

图8是表示具有第4实施方式的保管库的搬运系统的外观的透视图。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(第1实施方式)

首先，参照图1至图3说明第1实施方式的保管库结构。在这里，图1是表示具有第1实施方式的保管库的搬运系统的外观的透视图、图2是示意性地表示图1的保管库内部构造的剖视图、图3是表示第1实施方式的第1载置面以及第2载置面的相对于货品的扣合状态的剖视图。

特别是第1实施方式为本发明的“第1保管库”的实施方式。

在图1中，搬运系统100具有轨道1、搬运车2、堆料机(保管库)10以及控制器20。搬运系统100驱动搬运车2，在轨道1上搬运FOUP3。轨道1作为本发明的“轨道”的一例，起用于搬运车2移动的轨道的作用。

搬运车2为例如通过线性电动机进行驱动的OHT(Overhead HoistTransport，悬吊式搬运车系统)，将FOUP3搬运至堆料机10或并未图示的制造装置、OHT缓冲区、以及大型堆料机等。在搬运车2的内部具有沿铅直方向移动的起重机2a。

起重机2a在搬运时，例如通过挟持机构以进行保持被搬运的FOUP3的凸缘4。起重机2a构成为通过搬运车2的主体上设置的卷取皮带以及卷出皮带等升降机构，可在轨道1的下方沿铅直方向进行升降。起重机2a在与堆料机10之间进行FOUP3的出库或入库时，移动至堆料机10的出入库用库口的上方位置，进而在下降至库口的位置上，保持或放开凸缘4。在这个下降位置上，FOUP3的底面接触于后述的第2载置面(即，库口的底面)。

如图1及图2所示，FOUP3作为本发明的“货品”的一例，在堆料机10内，为了进行相对于搬运车2进行目的为出入库以及调整保管位置等而被搬运(即，保管库内搬运)。

如图3所示，FOUP3在底面具有凹部5、6。凹部5形成为与设置在后述的货架15上的凸部16相对应的尺寸。另一方面，凹部6形成为与设置在后述的承载部11上的凸部12相对应的尺寸。

回至图1，控制器20例如根据半导体元件制造的工序计划，相对于搬运车2以及堆料机10，进行FOUP3的搬运以及出入库(包括保管库内搬运)的指示。响应该指示，搬运车2以及堆料机10受到驱动，通过对由搬运车进行搬运的FOUP3实施各种处理，进行半导体元件制造。

(保管库单体)

堆料机10，作为本发明的“保管库”的一例，与轨道1邻接而进行铺设，保管多个FOUP3。

在图2中，堆料机为由载置部(支撑部)11、水平驱动部13以及铅直驱动部14构成的保管库内搬运装置，同时具有多个货架15。保管库内搬运装置在多个货架15之间输送FOUP3。通过该输送，FOUP3被载置在多个货架15中的特定货架(即，保管用货架)，FOUP3保管在堆料机10内。或者，如在后文详细说明，输送至作为出入库用库口发挥作用的货架15。

载置部11为了在多个货架15之间输送FOUP3，由水平驱动部13向水平一侧方向移动，且由铅直驱动部14向铅直方向移动。在载置部11的上表面具有第1载置面11a。第1载置面11a在输送时与FOUP3的底面接触，且从其底侧支撑FOUP3。在第1载置面11a上，形成有凸部以作为支撑部材12。如图3(b)所示，凸部12形成为与FOUP3的凹部6相对应的尺寸，在输送时与该凹部6相扣合。

再次在图2中，水平驱动部13例如通过未图示的电动机，在沿水平一侧方向延伸的水平导向器17上被驱动。水平驱动部13与载置部11相连结，使载置部11沿着水平导向器17向水平一侧方向D1往复移动。

铅直驱动部14例如通过并未图示的电动机，在沿铅直方向延伸的铅直导向器18被驱动。在铅直驱动部14上固定有水平导向器17的中央部。铅直驱动部14将水平导向器17沿着铅直导向器18，向铅直方向D2往复移动。由此往复移动时，载置部11位于水平导向器17的中央部。如此，载置部11通过水平驱动部13以及铅直驱动部14，向铅直方向以及水平一侧方向的双轴方向移动。

多个货架15，作为在铅直方向7阶段、在水平一侧方向2列、且在厚度方向一列而由合计14个货架构成，通过载置部11在所述14个货架15之间的移动，进行FOUP3的输送。各个货架15在上表面具有第2载置面15a，将FOUP3载置在该第2载置面15a上。在第2载置面15a上，形成有作为支撑部材的凸部16。如图3(a)所示，凸部16形成为与FOUP3的凹部5相对应的尺寸，在输送(保管)时与该凹部5相扣合。

再次在图2，14个货架15中的1个货架(换言之，其具有的第2载置面15a)，发挥在与搬运车2之间交付FOUP3的出入库用库口的作用。设定为库口的货架15为位于最顶层的2个货架的其中1个货架(图2中，位于用双点划线表示的区域P1的货架)，位于其上方以及侧方的堆料机主体10a，则开放以使FOUP3可出入库。

并且，不仅是设定为库口的货架15，除了该货架15，可将移动至区域P1的载置部11作为库口，也可以仅将该载置部11作为库口。在这种情况下，若不将货架15设置在区域P1，而将未载置FOUP3的载置部11配置在区域P1，则FOUP3从搬运车2直接入库。或者，将载置FOUP3的载置部11配置在区域P1时，FOUP3直接出库至搬运车2。

关于堆料机10的配置，设定为库口的货架15，配置在轨道1的下方。具体而言，载置部11移动的水平一侧方向的方位，相对于轨道1的方位以直角相交。

接着，参照图4(a)对本实施方式的第1以及第2载置面的形状进行说明。在这里，图4(a)是表示本实施方式的载置部向水平一侧方向的动作状态的俯视图。具体而言，图4(a)相当于图2中的A1-A1剖面，表示设置于堆料机10最顶层的2列货架15(第2载置面15a)。

如图4(a)所示，从堆料机10的上表面侧观察时，第2载置面15a形成为马蹄般的U字型，而第1载置面11a形成为填满该U字型中央的岛状四角形。由此，第1以及第2载置面11a、15a具有互补的平面形状。FOUP3在这样的第1以及第2载置面11a以及15a之间进行输送。

并且，在图3以及图4(a)所示的例子中，从俯视图观察时，第1载置面11a位于第2载置面15a的内侧，其外径较小。然而，也可以相反地将两者构成为使第1载置面11a位于第2载置面15a的外侧且外径变得较大。此时，作为图4(a)所示的第1以及第2载置面的形状的变形例，如图4(b)所示，例如从堆料机30的上方侧观察时，第1载置面3a形成为如马蹄状的U字型，而第2载置面35a形成为填满该U字型中央的岛状四角形。如此，若将向上下左右移动的第1载置面31a变大，则可增加将FOUP3载置于载置部31的保管库内搬运时的安定性，有利于防止FOUP3落下或是偏离。

(保管库内搬运动作)

接着，参照图2至图4对本实施方式的保管库内的货品的输送、即保管库内搬运的动作进行说明。

在图2及图4中，将通过搬运车2进行入库、且载置在区域P1的第2载置面15a的FOUP3，向位于同阶段的另一个第2载置面15a(在图2及图4中，用区域P2表示)输送。此时，首先，已完成将FOUP3向区域P3的第2载置面15a的输送的载置部11(图2中以虚线表示)，移动至区域P1的第2载置面15a的正下方。此时，载置部11通过水平驱动部13移动至水平导向器17的约莫中央后，通过铅直驱动部14沿着铅直导向器18移动至规定的铅直位置。该规定的铅直位置，位于区域P1的第2载置面15a的下方。之后，位于规定的铅直位置的载置部11通过水平驱动部13沿着水平导向器17移动至规定的水平位置(在图2中用实线表示)。如图3(a)所示，该规定的水平位置是在FOUP3的凹部6的铅直下方存在载置部11的凸部12的位置。

被移动至规定的铅直位置且水平位置的载置部11，通过铅直驱动部12上升。通过该上升，第1载置面11a通过第2载置部15a的中央，如图3(b)所示，高于第2载置面15a。此时，在区域P1的凹部5以及凸部16的扣合分开，以第1载置面11a代替第2载置面15a支撑FOUP3，且通过载置部11的凸部12以及FOUP3的凹部6的相互扣合，将FOUP3从第2载置面15a向第1载置面11a输送。

输送FOUP3的载置部11，移动至区域P2的第2载置面15a的正上方。此时，载置部11通过水平驱动部13移动至水平一侧方向上规定的水平位置。该规定水平位置为在区域P2的第2载置面15a的凸部16铅直上方向上存在FOUP3的凹部5的位置。移动至规定水平位置的载置部11，通过铅直驱动部14下降。通过这个下降，第1载置面11a通过区域P2的第2载置面15a的中央，如图3(a)所示，较第2载置面15a为低。此时，在区域P2的凸部12以及凹部6的扣合分开，以第2载置面15a代替第1载置面11a支撑FOUP3，且通过FOUP3的凹部5以及第2载置面15a的凸部16相互扣合，将FOUP3从第1载置面11a，向区域P2的第2载置面15a输送。由此，将FOUP3从设定为库口的区域P1向区域P2的输送动作结束。此外，若将该输送工序以相反顺序进行，即成为从区域P2向区域P1的输送动作。由此，通过上述库口进行的输送动作，还是FOUP3在搬运车2以及堆料机10之间的出入库动作。

如此，根据本实施方式的堆料机10，在铅直方向及水平一侧方向具有广度，且在厚度方向，包括有1个FOUP3的厚度加上水平驱动部13以及铅直驱动部14所需的空间，其结构极薄。因此，即使在沿着轨道1的较小间隙，也可以进行配置。并且，在进行库口以及搬运车2之间出入库时，并不需沿着双轴方向移动的载置部11，因此其不会妨碍该出入库作业，可通过简单的结构有效地进行FOUP3的出入库、或有效地进行保管库内搬运。

并且，在本实施方式中，堆料机10配置为，载置部11移动的水平一侧方向的方位相对于轨道1的方位以直角相交，也可以配置为水平一侧方向的方位与轨道1的方位平行。

(第2实施方式)

接着，参照图5对作为本发明的第2实施方式的第1实施方式的保管库的变形例进行说明。在这里，图5表示具有第2实施方式的保管库的搬运系统的外观，其为与图1同一目的的透视图，具体而言，在图5所示的保管库中，分别设定了出库用库口及入库用库口，且配置为使载置部移动的水平一侧方向与轨道平行。并且，在图5所示的搬运系统中，关于与图1所示的搬运系统100结构相同的要素，以同一标号标示，省略其说明。

特别是第2实施方式为本发明的“第1保管库”的实施方式。

在图5中，搬运系统200具有轨道1、搬运车2、以及堆料机40。搬运系统200与图1所示的搬运系统100相同，驱动搬运车2，在轨道1上进行FOUP3的搬运。搬运车2在轨道上进行搬运时，向移动方向D3移动。

堆料机40，具有与第1实施方式相同的保管库内搬运装置(参照图2至图5)，以及多个货架15。在多个货架15中，位于最顶层的2个货架15(第2载置面15a)，作为出库用及入库用的库口。在最顶层的2个货架15a中，设定为入库用库口的第2载置面15a，位于移动方向D3的上游侧，而设定为出库用库口的第2载置面15a，位于移动方向D3的下游侧。在所述第2载置面15a的上方及侧方相对的堆料机主体40，开放以使FOUP3进行出入库。

堆料机40中，设定为出库及入库用库口的2个第2载置面15a，配置在轨道1下方且沿着轨道1。并且，该2个第2载置面15a所排列的方位(换言之，将2个第2载置面15a设置为载置部移动的水平一侧方向的方位)，配置为平行于轨道1的方位。

(使用出库用及入库用库口进行的出入库动作)

接着，对本实施方式的保管库与搬运车之间的出入库动作进行说明。

在图5中，在保管库40中，第1FOUP3a的入库以及与该第1FOUP3a不同的第2FOUP3B的出库，在1台搬运车2之间连续进行。此时，首先，保持第1FOUP3a的搬运车2，从移动方向D3的上游侧到达堆料机40。如此一来，搬运车2停止在设定为入库用库口的第2载置面15a的正上方，且保持着第1FOUP3a的起重机2a移动至规定的铅直位置时，第1FOUP3a从该起重机2a放下，载置在入库用库口(设定为入库用库口的货架15的第2载置面15a)上。通过该载置，第1FOUP3a向堆料机40入库。在刚进行该入库之后、或在后述的第2FOUP3b出库之后，与第1实施方式的堆料机10相同，开始进行已入库的第1FOUP3a的保管库内搬运。

接着，如图5所示，放下第1FOUP3a的搬运车2，向移动方向D3移动。搬运车2停止在设定为出库用库口的第2载置面15a的正上方，且当起重机2a移动至规定的铅直位置时，第2FOUP3b由此起重机2a进行保持。通过该保持，第2FOUP3b进行出库。在刚进行出库之前、或搬运车到达出库用库口之前，与第1实施方式的堆料机10相同，进行预定出库的第2FOUP3b的保管库内搬运。出库之后，保持第2FOUPEb的搬运车2向移动方向D3移动。由此，一连串的出入动作结束。

如此，根据第2实施方式的堆料机40，因为出库及入库用的库口分别设置，刚从搬运车2将第1FOUP3a向入库用库口进行入库之后，第2FOUP3b从出库用库口向成为空载状态的搬运车2出库，因而出入库的效率大幅提高。此外，当工厂内的墙壁造成阻碍，无法设置一般的堆料机时，堆料机40配置为使载置部移动的水平一侧方向的方位与轨道1的方位平行，因此只要轨道离开墙壁的距离为构成得较薄的堆料机的厚度方向的厚度，即能够没有问题地配置堆料机。

接着，参照图6对保管库的配置进行说明。在这里，图6是表示第1实施方式的保管库的实用上配置状态的俯视图。

如图6所示，保管库例如半导体制造工厂等工厂内，配置在沿着轨道设置的制造装置等的装置之间的间隙。堆料机10的厚度方向尺寸，设计为对应于制造装置9之间的间隙。在制造装置9之间，设有维修用的空间S1。通过将堆料机10插入在该空间S1，以有效利用被称作除了进行维修时为多余空间的空间S1。多个制造装置9以及配置在这些制造装置9之间的堆料机10，配置为载置部移动的水平一侧方向相对于轨道1以直角相交。

并且，在第2实施方式，出库用以及入库用的2个库口配置在1条轨道1的下方，但这些2个库口也可以配置在2个轨道的下方。

(第3实施方式)

接着，参照图7对作为本发明的第3实施方式的第2实施方式的保管库的变形例进行说明。在这里，图7是表示第3实施方式的搬运系统的轨道的俯视图，具体而言，表示通向第2实施方式的保管库具有的2个库口的轨道。并且，在图7所示的搬运系统中，关于与图5所示的搬运系统200结构相同的要素，以同一标号标示，省略其说明。

特别是第3实施方式为本发明的“第2保管库”的实施方式。

在图7中，搬运系统300具有轨道1、搬运车2、以及堆料机40。搬运系统300通过未图示的控制器，控制搬运车2以及堆料机40，在轨道1上进行FOUP3的搬运。

轨道1在堆料机40的上游侧(在图7中为分支点P1)分支，在分支点P1的下游侧，由第1以及第2分支轨道1a、1b构成。第1分支轨道1a为用于将第1FOUP3a向堆料机40入库的轨道，第2分支轨道1b为用于将第2FOUP3b从堆料机40出库的轨道。

搬运车2由入库用的搬运车2a以及出库用的搬运车2b构成。入库用搬运车2a，在分支点P1之后，沿着第1分支轨道1a移动，从堆料机40的上游侧将第1FOUP3a搬运至其入库用库口。入库用搬运车2b，在分支点P1之后，沿着第2分支轨道1b移动，从堆料机40的出库用库口将第2FOUP3b搬运至其下游侧。

关于堆料机40，位于最顶层的2个第2载置面15a，作为出库以及入库用的库口。设定为入库用库口的第2载置面15a，位于第1分支轨道1a的下方，设置为出库用库口的第2载置面15a，位于第2分支轨道1b的下方。此外，2个第2载置面15，可不分别作为出库用库口以及入库用库口，而是作为出入库用库口而发挥相同的作用。

(以2条轨道对应2个库口的搬运系统的出入库动作)

接着，对第3实施方式的搬运系统的出入库动作进行说明。

在图7中，在搬运系统300中，使用对应2个库口的2条轨道1a、1b，同时进行出入库。此时，首先，当搬运车2到达分支点P1时，搬运车2的分支点P1之后的移动路径受到控制。当搬运车2为入库用搬运车2a时，入库用搬运车2a沿着第1分支轨道1a移动，到达堆料机40。由此，入库用搬运车2a停止在设定为入库用库口的第2载置面15a的正上方，且由入库搬运车2a保持的第1FOUP3a，载置在入库用库口上。通过该载置，第1FOUP3a向堆料机40入库。其后，入库用搬运车2a向第1分支轨道1a的下游侧移动。

另一方面，当搬运车2为入库用搬运车2b时，出库用搬运车2b沿着第2分支轨道1b移动，到达堆料机40。由此，出库用搬运车2b停止在设定为出库用库口的第2载置面15a的正上方，且保持载置在出库用库口上的第2FOUP3b。通过该保持，第2FOUP3b向出库用搬运车2b出库。其后，出库用搬运车2b向第2分支轨道1b的下游侧移动。

如此，根据第3实施方式的搬运系统，堆料机40的最顶层具有2个库口，同时多个搬运车2沿着对应这些2个库口的2条轨道1a、1b移动，因而入库作业以及出库作业可同时进行，输送效率得到显著提高。

此外，图6所示的堆料机10，虽以单体配置，但也可以根据制造装置之间的间隙，配置由多个堆料机组成的堆料机组。

(第4实施方式)

接着，参照图8对作为本发明的第4实施方式的由多个第1实施方式的保管库组合的保管库组进行说明。在这里，图8表示具有本实施方式的保管库组的搬运系统的外观，其为与图1同一目的的透视图。并且，在图8所示的搬运系统中，关于与图1所示的搬运系统100结构相同的要素，以同一标号标示，省略其说明。

特别是第4实施方式为本发明的“保管库组”的实施方式。

在图8中，搬运系统500具有轨道1、搬运车2、以及多个堆料机组10x。搬运系统500与图1所示的搬运系统100相同，通过未图示的控制器，驱动搬运车2，在轨道1上进行FOUP3的搬运。

堆料机组10x，由6个堆料机10构成。各个堆料机10与图1所示的堆料机10相同，具有包括未图示的载置部的保管库内搬运装置19以及多个货架15。保管库内搬运装置19，通过驱动单元将载置部向水平一侧方向及铅直方向的双轴方向移动，在多个货架15之间输送FOUP3。位于多个货架15中最顶层的货架15(在图8中为载置FOUP3的货架)，作为出入库用库口发挥作用。

构成堆料机组10x的6个堆料机10，其出入库用库口的货架15，在轨道1下方，排列成沿着轨道1并排为一列。并且，各个堆料机10，其载置部11移动的水平一侧方向的方位相对于轨道1的方位以直角相交。

(保管库组的出入库动作)

在此简单对第4实施方式的堆料机组10x以及搬运车2之间的出入库动作进行说明。

在图8中，当堆料机组10x的6个堆料机10各自保管不同的FOUP3时，通过搬运车2往复移动，能够在对应堆料机组10x的轨道1的狭小空间以及各个FOUP3的搬运地之间，进行不同的6种FOUP3的出入库。并且，此时通过在配置在轨道1上流侧的堆料机10完成入库的搬运车2，能够将配置在第1堆料机10的下游侧的第2堆料机10中的FOUP3进行出库。并且，当多个搬运车2相对于该堆料机组10x移动时，可同时对6个堆料机10进行6种FOUP3的出入库作业。

如此，根据第2实施方式，不论在沿着轨道1的较小间隙还是较大间隙，可适当配置调整了堆料机10的数量的堆料机组10x，且将构成堆料机组10x的多个堆料机排列成沿着轨道1并排为一列。因此，通过在轨道1上移动的搬运车2，对任一库口都能进行出入库作业，使得输送效率显著提高。

本发明不只限于上述的实施方式，也可以在不违反由专利申请范围以及说明书整体内容记载的发明主旨或思想的情况下，进行适度的改变，而随着这些变更的保管库，特别是使多个这种保管库组合的保管库组、以及具有这种保管库组的带保管库的搬运系统，也包括在本发明的技术范围之内。例如在上述实施方式中，以在输送时将FOUP从底侧进行支撑的结构为例进行了说明，但也可以采用相对于该保管库，支撑或保持住设置在FOUP顶部的凸缘的结构。