公开/公告号CN101122026A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-02-13
原文格式PDF
申请/专利权人 马林克罗特贝克公司;
申请/专利号CN200710106500.3
申请日2007-06-01
分类号C23F1/32(20060101);C23F1/40(20060101);C30B33/10(20060101);H01L21/306(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人张平元;赵仁临
地址 美国新泽西州
入库时间 2023-12-17 19:45:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-09-05
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F1/32 公开日:20080213 申请日:20070601
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-04-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-02-13
公开
公开
机译: 用于平面化低温多晶硅薄膜面板的多晶硅平面化解决方案
机译: 用于低温多晶硅薄膜板平面化的多晶硅平面化解决方案
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