通过俄歇电子能谱测量纳米薄膜厚度的方法

摘要

公开了一种测量衬底上的超薄多层膜厚度的系统和方法。建立了超薄多层结构和纳米多层结构俄歇电子发射的物理模型。根据物理模型推导出用于多层薄膜厚度的俄歇电子能谱(AES)测量的数学模型。首先对一系列校准样品进行AES分析。将结果输入到数学模型以确定数学公式中的参数。参数可以通过替代技术的相关测量进行校准。对超薄多层膜结构进行AES分析。将结果输入到数学模型并计算厚度。