在相同工艺流程内被独立访问的双栅和三栅晶体管

摘要

描述了一种在同一工艺流程中制造的独立访问的双栅和三栅晶体管。一绝缘塞从I－栅器件而不是三栅器件的半导体主体上去除。这例如能够允许金属化以形成在三栅器件的三个侧面上，并允许用于I－栅器件的独立栅极。