光掩模微尘清除器及光掩模微尘清除程序

摘要

一种光掩模微尘清除器及应用其的光掩模微尘清除程序。此光掩模微尘清除器置于一光掩模微尘检测器前方，且至少包括一喷气构件与一支撑构件，其中喷气构件可朝光掩模的表面喷气以清除微尘，且支撑构件用以支撑此喷气构件。另光掩模微尘清除程序在光掩模上检测到微尘后，启动置于光掩模微尘检测器前的光掩模微尘清除器，再令光掩模经过微尘清除器的喷气构件而送入光掩模微尘检测器中，以在检测前清除微尘。