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公开/公告号CN1670934A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 SMK株式会社;
申请/专利号CN200510056428.9
发明设计人 今井一夫;才藤勇;山口义秋;中山尚美;
申请日2005-03-21
分类号H01L21/56;G06F3/033;
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人宋丹氢
地址 日本东京
入库时间 2023-12-17 16:29:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-07-08
授权
2007-03-14
实质审查的生效
2005-09-21
公开
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