脆性材料基板的划刻器、脆性材料基板的处理机械、脆性材料基板的抛光装置以及脆性材料基板的划刻和断开系统

摘要

本发明涉及一种用于脆性材料基板的划刻器；一种用于对分离开的脆性材料基板的侧边缘进行抛光的脆性材料抛光设备；以及一种用于脆性材料基板的划刻和断开系统，包括至少一个用于脆性材料基板的划刻器和一个脆性材料基板抛光设备，该脆性材料基板抛光设备用于在由划刻器划刻后的脆性材料基板已经被分离开之后对分离开的脆性材料基板的侧边缘进行抛光。为了处理在用于平板显示器的划刻和断开系统中使用的大尺寸基板，断开步骤被省除，并且所述划刻和断开系统利用划刻器和抛光设备构造而成。