法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-01-11
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2004-09-22
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-07-14
公开
公开
机译: 用于去除油膜上表面污染物的清洁装置,具有液体浮力装置,该液体浮力装置设有经过推进运动训练的驱动单元,其中液体浮力装置用于去除液体表面上的表面污染物。
机译: 具有表面污染防止单元的设备,用于分析真空过程中产生的颗粒和副产品,能够防止入射窗和投影窗上的表面污染
机译: 用于极端紫外光刻的光学表面污染物去除方法,涉及从光学表面去除污染物以形成聚合保护层,该保护层可保护光学表面免受金属化合物的污染