等离子体增强的真空汽相淀积系统,包括使固体蒸发,产生电弧放电,以及测量电离和蒸发的系统

摘要

用于真空汽相淀积敷层的设备和方法,提供较简单、经济和连续的操作。一种用于连续地熔化和蒸发固体材料,以形成敷层蒸气的系统和方法,包括使用分开的熔化坩埚和蒸发坩埚。一种用于激励蒸发固体,以形成等离子体的系统和方法,包括第一和第二电极,以及一个用于选择地在第一与第二电极之间转换极性,以避免在电极上的敷层汽相淀积的装置。另一种用于激励蒸发固体,以形成等离子体的系统和方法,包括一个电弧放电设备,它具有一个阴极和一个阳极部分。公开一种连续供给电极,用于电弧放电下电极部件的连续蒸发。一种设备和方法,提供在汽相淀积系统中测量蒸发器的蒸发速度和电离度。最后,公开一种系统,以就地清洁蒸发淀积,以清洁真空汽相淀积系统的壳体。