温度补偿微型电动机械结构以及补偿环境温度变化的作用的方法

摘要

提供一种补偿环境温度的变化、工艺的改变等等的MEMS结构,它可利用于许多应用中。这种结构包括一个主动微致动器(105),适合于热致动以响应其温度的主动改变而运动。主动微致动器可进一步适合于响应环境温度的变化而运动。这种结构还包括一个温度补偿元件(205),诸如一个温度补偿微致动器或一个框架,适合于响应环境温度的变化而运动。主动微致动器与温度补偿元件响应环境温度的变化而协同运动。因此,在主动微致动器温度没有主动改变的情况下,在宽范围的环境温度下主动微致动器与相关的温度补偿微致动器之间保持预定的空间关系。在一个供选的实施方案中,主动微致动器悬置在微电子衬底上的一个框架上,在主动微致动器温度没有主动改变的情况下,在宽范围的环境温度下该MEMS结构保持主动微致动器的至少一部分相对于衬底处于一个固定位置。