公开/公告号CN1221497A
专利类型发明专利
公开/公告日1999-06-30
原文格式PDF
申请/专利权人 克拉里安特国际有限公司;
申请/专利号CN97195252.3
申请日1997-06-06
分类号G03F7/09;H01L31/0216;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人陈季壮
地址 瑞士穆提茨
入库时间 2023-12-17 13:25:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2000-03-29
专利申请的视为撤回
专利申请的视为撤回
1999-06-30
公开
公开
机译: 一种降低氨基芳族发色团的金属离子含量并将其用于合成低光刻胶金属的底部抗反射涂层的方法。
机译: 氨基芳香族发色团的金属离子还原锌及其在光阻剂金属离子含量低的抗反射性稀土化合物的制备中的应用
机译: 还原单色彩色形成材料中的金属离子的方法及其在合成用于光刻胶的金属含量很少的底部金属抗反射涂料中的用途