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公开/公告号CN111595381A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-28
原文格式PDF
申请/专利权人 上海交通大学;
申请/专利号CN202010475556.1
发明设计人 刘武;訾鹏;梁贺龙;许海军;
申请日2020-05-29
分类号G01D21/02(20060101);B81B7/02(20060101);B81C1/00(20060101);
代理机构31236 上海汉声知识产权代理有限公司;
代理人胡晶
地址 200240 上海市闵行区东川路800号
入库时间 2023-12-17 11:28:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-28
公开
机译: 具有减小的寄生电容的电容式微传感器及其制备方法
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