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电容式加速度微传感器

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摘要

介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理,并进行受力分析.利用ANSYS进行有限元分析,得出加速度和电容之间的非线性关系,证明了该传感器在工艺设计上的可行性.设计合适的传感器结构参数和MEMS工艺流程,制作出满足不同测量要求、有较高精度的加速度传感器.

著录项

来源
《莆田学院学报》 |2004年第3期|60-63|共4页
作者
郑志霞; 冯勇建;
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作者单位

莆田学院,电子信息工程系,福建,莆田,351100;

厦门大学,微机电中心,福建,厦门,361005;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
加速度; 微传感器; MEMS工艺;

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