平板式PECVD设备的微波天线组件及平板式PECVD设备

摘要

本发明公开了一种平板式PECVD设备的微波天线组件，包括微波天线及微波隔离石英管，所述微波天线设于平板式PECVD设备的真空腔室的外侧，所述微波隔离石英管设于所述真空腔室内，微波天线组件还包括石英管旋转驱动件，所述石英管旋转驱动件与所述微波隔离石英管相连。本发明还公开了一种平板式PECVD设备，包括真空腔室，所述真空腔室内设有工件载板及载板输送部件，还包括前述的平板式PECVD设备的微波天线组件。本发明具备有利于减缓薄膜的附着速率，延长石英管更换周期，提高生产效率等优点。