具有多个阈值电压沟道材料的晶体管结构

摘要

实施例包括第一纳米线晶体管，其具有第一源极和第一漏极以及位于二者之间的第一沟道，其中，第一沟道包括第一III‑V族合金。第一栅极叠层在第一沟道周围，其中：第一栅极叠层的一部分在第一沟道和衬底之间。第一栅极叠层包括与栅电介质接触的栅电极金属。第二纳米线晶体管在衬底上，其具有第二源极和第二漏极以及位于二者之间的第二沟道，第二沟道包括第二III‑V族合金。第二栅极叠层在第二沟道周围，其中，居间材料在第二栅极叠层与衬底之间，居间材料包括第三III‑V族合金。第二栅极叠层包括与栅电介质接触的栅电极金属。