提高双面PERC电池背面效率的背面膜结构及其镀膜方法

摘要

本发明提供了一种提高双面PERC电池背面效率的背面膜结构及其镀膜方法，属于太阳能电池镀膜技术领域。它包括位于电池片背面的AlO薄膜，在AlO薄膜上设有第一SiN薄膜、在第一SiN薄膜上设有第二SiN薄膜，在第二SiN薄膜上设有SiON薄膜。本发明通过不同折射率和膜厚的膜层结构，最终降低背面的反射率，从而达到提升背面短路电流，提升背面效率。