公开/公告号CN111093039A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-01
原文格式PDF
申请/专利权人 北京图森智途科技有限公司;
申请/专利号CN201811245532.6
发明设计人 刘淼;
申请日2018-10-24
分类号H04N5/235(20060101);
代理机构11291 北京同达信恒知识产权代理有限公司;
代理人黄志华
地址 101300 北京市顺义区中关村科技园区顺义园临空二路1号
入库时间 2023-12-17 08:17:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H04N5/235 申请日:20181024
实质审查的生效
2020-05-01
公开
公开
机译: 曝光校正装置,成像设备,曝光值设定装置,曝光校正值计算方法和控制程序
机译: 实际曝光时间计算方法和成像设备,光学设备,照相机系统和实际曝光时间测量设备
机译: 适用于形成图案的重复性曝光的投影曝光设备,一种使用其的投影曝光方法,一种制造曝光成员的方法以及一种包括曝光模式列的半导体装置