公开/公告号CN110957205A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-03
原文格式PDF
申请/专利权人 武汉大学苏州研究院;
申请/专利号CN201811132908.2
申请日2018-09-27
分类号
代理机构武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人吴楚
地址 215123 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖科技创新区林泉街377号公共学院5号楼
入库时间 2023-12-17 07:17:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20180927
实质审查的生效
2020-04-03
公开
公开
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