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一种水平对中校准夹具、拉晶炉及水平对中校准方法

摘要

本发明公开了一种水平对中校准夹具,包括:若干支撑架、若干第一平衡件以及若干可为竖直状态或水平状态的测量组件,其中,所述第一平衡件设置于所述支撑架上,所述测量组件活动设置于所述支撑架上,且所述测量组件处于竖直状态时,所述测量组件以第一校准值为基准测量待测量件的第一状态,所述测量组件处于水平状态时,所述测量组件以第二校准值为基准测量待测量件的第二状态。本发明所提供的水平对中校准夹具可以确保待测量件处于水平对中状态,为后续处理工序奠定基础。

著录项

  • 公开/公告号CN110952134A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-04-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安奕斯伟硅片技术有限公司;

    申请/专利号CN201911311540.0

  • 申请日2019-12-18

  • 分类号C30B15/12(20060101);C30B15/20(20060101);C30B29/06(20060101);

  • 代理机构61230 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人刘长春

  • 地址 710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

  • 入库时间 2023-12-17 06:55:54

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B15/12 申请日:20191218

    实质审查的生效

  • 2020-04-03

    公开

    公开

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