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基于原子力显微镜(AFM)扫描探针的力学响应测量工具

摘要

本发明涉及一种基于原子力显微镜(AFM)扫描探针的力学响应测量工具。所述力学响应测量工具是将AFM扫描探针和两个胶体微球粘接,利用一个胶体球取代扫描探针针尖与样品表面接触,另一个胶体微球粘在探针末端处于半悬空状态,可参与到视觉传感的定位中。位于扫描探针下方的微球改善了力负载的加载方式,而半悬空微球保留了一半球的特征,在微纳精度的视觉定位中有较好的鲁棒性。

著录项

  • 公开/公告号CN110658361A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-01-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京航空航天大学;

    申请/专利号CN201910920463.2

  • 发明设计人 王玉亮;廉兆鑫;陈步云;

    申请日2019-09-27

  • 分类号

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 100191 北京市海淀区学院路37号

  • 入库时间 2023-12-17 06:13:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/42 申请日:20190927

    实质审查的生效

  • 2020-01-07

    公开

    公开

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