一种二氧化硅溶胶的制备方法及蓝宝石化学机械抛光液

摘要

本发明涉及化工领域，具体涉及一种二氧化硅溶胶的制备方法及蓝宝石化学机械抛光液。一种二氧化硅溶胶的制备方法包括如下步骤：1)提供聚硅酸，将聚硅酸升温加热后，搅拌下加入碱，得溶液A；2)向所述步骤1)的溶液A中搅拌下加入丙三醇，得溶液B；3)向所述步骤2)的溶液B中搅拌下滴加碱，得二氧化硅溶胶。本发明二氧化硅溶胶为软团聚磨料，在提高抛光速率的同时能有效减少抛光过程中的划伤问题。