电容式压力传感器和制造该电容式压力传感器的方法

摘要

本发明公开一种电容式压力传感器及其制造方法。该电容式压力传感器包括：固定板，被配置为作为背板；活动板，被配置为隔膜用于检测压力，其中空腔形成在所述固定板和所述活动板之间；绝缘层，位于所述固定板和所述活动板与它们的电触点之间，用于最小化漏泄电流；多个阻尼孔用于当压力施加在所述隔膜上时使得所述固定板的轮廓与偏转的所述隔膜一致；排放孔，延伸到所述空腔并具有有阻力的空气路径，用于与所述隔膜的平衡；和延伸的背室，用于增加所述电容式压力传感器的灵敏度。该电容式压力传感器还被配置为用于最小化寄生电容。