法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-07
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):F27B9/16 申请公布日:20150415 申请日:20140805
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-05-13
实质审查的生效 IPC(主分类):F27B9/16 申请日:20140805
实质审查的生效
2015-04-15
公开
公开
机译: 用于确定热处理炉预处理条件的方法,热处理炉的预处理方法,热处理炉,热处理半导体晶片的热处理炉,方法和装置
机译: 用于检查的热处理炉,具有用于检查的热处理炉的检查装置以及具有用于检查的热处理炉的X射线检查装置
机译: 垂直热处理炉和包括热处理炉在内的垂直热处理炉的加热炉和浸炉炉心辊